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小型液晶パネル組立装置/ウェットプロセス関連装置

MRG-100
ラビング・ジグ MRG-100

卓上タイプの実験試作用途のラビング装置です。 簡単な操作でガラス基板・フィルム基板などへのラビングを安定して行えます。

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MRM-100
小型ラビング装置「型式:MRM-100」

開発用途でも優れた仕様の小型機です。 一方向ラビング、往復ラビングに対応しています。 ロールは水平方向に45度まで1度単位で手動回転が可能です。 位置制御はデジタル制御となっており、レシピの登録が可能です。 真空検出機能により、基板吸着力不足の状態では、処理スタートができないようになっています。 真空は内蔵の真空発生器により発生させています(真空ポンプは不要) さらにテーブルサイズの大きい【MRM-150】【MRM-200】も製作可能です。

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MHS-500S(安全カバー、架台オプション付き)
ガラススクライバー『MHS-300S』

モーター駆動で速度が一定!300×300mmガラスのスクライブを行う半自動スクライバー

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ECM01TYPE
液晶注入機 ECM01TYPE

小型セルの液晶注入に最適です。

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ECM02TYPE
液晶注入機 ECM02TYPE

小型セルの液晶注入を自動で行える開発型液晶注入装置です

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MLP-320G
UV加圧硬化装置「型式:MLP-320G」

加圧してギャップ制御したままUV硬化が行える実験用加圧硬化装置です

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MLB-300
ガラスブレーカー「型式:MLB-300」

スクライブ後の貼り合せ基板をブレイクする卓上機です。

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SC-300
小型スピンコーター SC-300

どなたでも簡単にご使用頂ける卓上型の小型スピンコーターです。

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平行光露光機
特注製造品「平行光露光機」

対象サイズは最大 150×150 ガラスの高照度露光装置です。

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VD-400
減圧乾燥装置「VD-400」

減圧チャンバーで、レジスト塗布後のガラス基板を減圧乾燥する装置です。 バタフライバルブの採用で真空排気能力の設定が可能です。

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VD-500S
減圧乾燥装置「VD-500S」

減圧チャンバーで、レジスト塗布後のガラス基板を減圧乾燥する装置です。 バタフライバルブの採用で真空排気能力の設定が可能です。

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SC-158HS
液晶関連装置 加熱型スピンコータ「型式 SC-158HS」

小型スピンナーに試料台加熱機能がついた開発用スピンコーターです

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