株式会社イーエッチシーが取り扱う各種製品をご覧ください。

卓上タイプの実験試作用途のラビング装置です。 簡単な操作でガラス基板・フィルム基板などへのラビングを安定して行えます。

開発用途でも優れた仕様の小型機です。 一方向ラビング、往復ラビングに対応しています。 ロールは水平方向に45度まで１度単位で手動回転が可能です。 位置制御はデジタル制御となっており、レシピの登録が可能です。 真空検出機能により、基板吸着力不足の状態では、処理スタートができないようになっています。 真空は内蔵の真空発生器により発生させています（真空ポンプは不要） さらにテーブルサイズの大きい【MRM-150】【MRM-200】も製作可能です。

モーター駆動で速度が一定！300×300mmガラスのスクライブを行う半自動スクライバー

モーター駆動で速度が一定！500×500mmガラスのスクライブを行う半自動スクライバー

小型セルの液晶注入に最適です。

小型セルの液晶注入を自動で行える開発型液晶注入装置です

加圧してギャップ制御したままＵＶ硬化が行える実験用加圧硬化装置です

対象サイズは最大 150×150 ガラスの高照度露光装置です。

減圧チャンバーで、レジスト塗布後のガラス基板を減圧乾燥する装置です。 バタフライバルブの採用で真空排気能力の設定が可能です。

減圧チャンバーで、レジスト塗布後のガラス基板を減圧乾燥する装置です。 バタフライバルブの採用で真空排気能力の設定が可能です。