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特注製造品「平行光露光機」

平行光露光機

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製品詳細

対象サイズは最大 150×150 ガラスの高照度露光装置です。

「平行光露光機」は、高精度平行光源及び精密ステージによりガラス基板の露光を行い、分割スライドマスクにより手動８分割多面露光が可能です。
対象サイズは最大 150×150 ガラスの高照度露光装置です。

【特長】
○操作部はスイッチタイプ、タッチパネルタイプを選択可能
○露光ギャップは0～300μｍ間の設定
○マスクホルダーは交換式により最大6inのマスクに対応

製品仕様

○ガラス寸法：150mm×150mm(MAX)×0.5～１mmt　*仕様により変更有り
○露光面照度：超高圧水銀ランプ 2kW、40mW/cm²以上
○光線平行度：コリメーション半角2.0°、デクリネーション角0.5°以内
○ギャップ設定分解能：0～300μｍ、±2μｍ
○ユーティリティー：AC200V　50/60Hz、エアー 0.5Mpa程度
○ランプハウス排気：5m²/min
○外形寸法：(W)1100×(D)1290mm×(H)2175mm　*仕様により変更有り
　※上記項目は要求仕様により変更可能