「VD-400」は減圧チャンバーで、レジスト塗布後のガラス基板を減圧乾燥する装置です。
バタフライバルブの採用で真空排気能力の設定が可能です。
【主な仕様】
○チャンバー:外寸法400mm×400mm 高さ103mm(蓋閉時)
内寸法350mm×350mm 高さ30mm
○真空系:到達真空度 1Pa以下(サンプル無)
ドライポンプ250L/min
○チャンバー:外寸法400mm×400mm 高さ103mm(蓋閉時)
内寸法350mm×350mm 高さ30mm
○真空系: 到達真空度 約1Pa(サンプル無)
ドライポンプ 250L/min
○減圧方式:圧力モード 設定圧力に達したら自動で大気解放
時間モード 設定された時間 減圧したら自動で解放
○ユーティリティー:3ΦAC200:ドライエアー0.4~0.6MPa:真空排気
○外形寸法:(W)1000×(L)800mm×(H)1600mm
○装置重量:約250Kg
※上記項目は要求仕様により変更可能