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減圧乾燥装置「VD-500S」

VD-500S

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製品詳細

「VD-500S」は減圧チャンバーで、レジスト塗布後のガラス基板を減圧乾燥する装置です。
バタフライバルブの採用で真空排気能力の設定が可能です。
【主な仕様】
○チャンバー：外寸法580mm×480mm　高さ103mm（蓋閉時）
                       内寸法530mm×430mm　高さ53mm
○真空系：到達真空度　約1Pa（サンプル無）　
                 ドライポンプ600L/min





製品仕様

○チャンバー：外寸法580mm×480mm　高さ103mm（蓋閉時）
                    　内寸法530mm×430mm　高さ53mm
○真空系： 到達真空度　約1Pa（サンプル無）
　　　    　　ドライポンプ 600L/min
○減圧方式：圧力モード　設定圧力に達したら自動で大気解放
　　　　　　　  時間モード　設定された時間 減圧したら自動で解放
○ユーティリティー：3ΦAC200:ドライエアー0.4～0.6MPa：真空排気
○外形寸法：(W)1200×(L)1100mm×(H)1600mm　
○装置重量：約350Kg
※上記項目は要求仕様により変更可能